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工作原理
利用单晶硅的压阻效应，通过MEMS工艺在硅片上制作硅杯和感压膜片，且膜片上加工有四个等值电阻组成的惠斯通电桥，当膜片感受到压力时，电桥电阻发生拉伸或压缩形变，从而使电阻值随之增大或减小。当给电桥以一定的电压激励时，可以将膜片受压力产生的应变转换为与压力成线性关系的差分电压输出，实现压力的精准测量。将电桥输出的电信号经过调理电路放大、补偿后，可转换成电压、电流或数字信号等标准信号输出。产品具有测量精度高、功耗低、尺寸小、易安装等特点。
产品参数 型号 ZYSP 工作压力 0～500kPa～60Mpa（量程可定制） 压力类型 表压 精度等级 0.2，0.3，0.5 工作温度 -20℃~85℃，-40℃~125℃ 安全压力 1.5倍 爆破压力 2倍 电气接口 赫斯曼、标准航插等(可按需定制) 防护等级 IP67（可按需定制） 压力连接 G1/4、G1/2、M20×1.5等（可按需定制） 供电电压 5VDC、12VDC、24VDC、28VDC 输出信号 0.5~4.5VDC、4~20mA、I2C等（可按需定制） 温度漂移 ±0.03%FS/℃ 响应时间 <10ms 稳定性 ±0.2%FS/年 应用场景
产品可以直接接触并测量过程控制、环境控制、液压和气动设备、伺服阀门和传动等应用场景中的液体和气体介质或腐蚀性介质，广泛应用于汽车电子、医疗行业、工业自动化、航空航天、船舶等领域。
代号 参数 类型 A 绝压 S 密封表压 G 表压 DP 差压 量程 104 100kPa 204 200MPa 504 500MPa 105 1MPa 205 2MPa 505 5MPa 106 10MPa 606 60MPa 输出信号 V 0.5~4.5VDC I 4~20mA O 其他 电气接口 H 赫斯曼 M 四芯航插 O 其他 压力接口 G14 G1/4 G12 G1/2 M20 M20 x 1.5 O 其他 型号选择示例
ZYSP-G-205-V-H-G14，为表压2MPa、0.5～4.5VDC输出、赫斯曼电接口、G1/4压力接口的硅压阻式压力传感器。